​三次元儀器表麵粗糙度測量儀采用（yòng）針描法原理的（de）表麵粗糙度（dù）測量儀由傳感器、驅動器、指零表、記錄器和（hé）電感傳感器是輪 廓儀的主要部件之一，其工作原理是，在傳感器測杆的一端裝有金剛石觸針，觸針尖 端曲率半徑r很小，測量時將觸針搭在工件上，與被測表麵垂直接觸，利用驅動器以（yǐ）一定的 速度拖動傳感器。
由於被測表麵輪廓峰穀起伏，觸狀在被測表（biǎo）麵滑行時，將產生（shēng）上下移動。 此運動經支點使磁芯同步地上下運動，從（cóng）而使包圍在磁芯外麵的兩個差動電感線（xiàn）圈的電感量發生變化。

傳感器的線圈（quān）與測量線路是直接接入平（píng）衡電橋（qiáo）的，線圈電感量的變化使電橋失 去平衡（héng），於是就輸出一個和觸（chù）針上下的位移（yí）量成正比的信號，經電子裝置（zhì）將這一微弱電量（liàng）的變化放大（dà）、 相（xiàng）敏檢波後（hòu），獲得能表示觸針位移量大小和方向（xiàng）的信號。

此後（hòu），將信號分成三路：一路加到指零表上， 以表示觸（chù）針的位置，一路輸至直流功率放大器，放大後推動記錄器（qì）進行記錄；另一路經濾波和平均表放大 器放大之後，進入積分計算器，進行積分計算，即（jí）可由指示表（biǎo）直接讀出表麵粗糙度Ra值。

傳統表麵（miàn）粗糙度測量儀工作原（yuán）理框圖指零表的作用反映鐵芯在差動電感線（xiàn）圈中所處的位置。當鐵芯處於差動電感線（xiàn）圈的中間位置時，指零表指針指示出零位，即保證處於電（diàn）感變（biàn）化的線性範圍之內。

所以，在（zài）測量（liàng）之前，必須調整指零（líng）表，使其處於零位。噪聲濾（lǜ）波的目（mù）的在於剔除一些幹（gàn）擾信號，如電氣元件的噪聲所引起的虛假信號。大量的測（cè）試表明，高於400Hz的信號即不是被測表麵粗糙度所引的（de）信號，必須從總信號中加以剔（tī）除。

所以噪聲濾波器（qì）是（shì）一種低通(低頻能通過)濾波器，它（tā）使400Hz以下的低頻信號順利通過，而將400Hz以上的高頻（pín）信號迅速（sù）衰減，從（cóng）而達到濾波的目的。波度濾波的目的則是用以濾掉距大於取樣長度的波度，因此它是（shì）一個高（gāo）通(高頻能（néng）通過)濾波器，使表麵粗糙度所引起的高頻(相對於波度引起的低頻而（ér）言)信號能（néng）自由通（tōng）過。

經過噪聲濾波和波度濾波以後，剩下來的就是與被測表麵（miàn）粗（cū）糙度成比例的信號，再經平均（jun1）表放大器後，所輸出的電流（liú）I與被測表麵輪廓各（gè）點偏離（lí）中線的高度y的絕對值成正比，然後經積（jī）分器完成的（de）積（jī）計算，得出Ra值，由指零表顯示出來。

這種儀器適用於測定0.02-10μm的Ra值，其中有少數型（xíng）號的儀器還可測（cè）定更小的參數值，儀器配有各種附（fù）件，以適應平（píng）麵、內外（wài）圓柱（zhù）麵、圓錐麵、球麵、曲麵、以及小孔、溝槽等形（xíng）狀的工件表麵（miàn）測量。測量（liàng）迅速方便，測值精度高（gāo）。