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三次元儀器測量（liàng）顯微鏡有哪些原理？
文章出處（chù）：新聞資訊
責任（rèn）編輯：東莞市精（jīng）豐（fēng）測量儀器有限公司
發表（biǎo）時間：2020-08-19
測量顯微鏡是采用用透、反（fǎn）射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用於錄像磁頭、大規模集成電（diàn）路線寬以及其它精密零件的測試儀器。廣（guǎng）泛（fàn）地適用（yòng）於計量室、生產（chǎn）作業線及科學研究等部門。 三次元儀器（qì） 測量顯微鏡（jìng）有哪些原理？ 測量顯微鏡與STM類似，在AFM中，使用對微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對樣品表麵作光柵式掃描。當針尖和樣品表麵（miàn）的距離非（fēi）常接近時，針尖尖端的原子與樣品表麵的原子之間存在極微弱的作用（yòng）力（ N），此時，微懸臂就會（huì）發生微小的彈性形變。針尖（jiān）與樣品（pǐn）之間的力F與微懸臂的形變之間遵循（xún）虎克定律：F=-k*x ，其中，k為微懸臂的力常數。所以，隻要測出微懸臂形變量的大小，就（jiù）可以獲得（dé）針尖與樣品之間作用（yòng）力的大小。 針尖與（yǔ）樣品之間的作用力與距離有強烈的依賴關係，所以在掃描過程中利用反饋回路保持針尖與樣品（pǐn）之（zhī）間的作用力恒定，即保持為懸（xuán）臂的形（xíng）變量不變，針尖就會隨樣品表麵（miàn）的起伏上（shàng）下移動，記錄針尖上下運動（dòng）的（de）軌（guǐ）跡即可（kě）得到樣品表麵形貌的信（xìn）息。 這種工（gōng）作模式被稱為“恒力”模式（Constant Force Mode），是使用廣泛的掃描方式。 AFM的圖像也可（kě）以使用“恒高”模式（Constant Height Mode）來獲得，也就是在X，Y掃描過（guò）程中，不使用反饋回（huí）路，保持針尖與樣品之間的距離恒定，通過測（cè）量微懸臂Z方（fāng）向的形變量（liàng）來成像（xiàng）。這（zhè）種方式不使用反（fǎn）饋回路，可以采用更高的掃描速度，通常（cháng）在觀察原子、分子像時用得比較多，而對於表麵起伏比較大的樣品（pǐn）不適用。
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