三次元檢測的原（yuán）理是將被測物體置於三坐標測量空間，可獲得被測物體上各測點的坐標位置，根據這些點的空間坐標值，經計算求出被測物體的幾何尺（chǐ）寸，形狀和位置。它可以測量被測物的同心度（dù），平行度，平麵度，同軸度，位置度，垂直度（dù）等幾何形位公差。
直線度：直（zhí）線度是表示零件上的直線要素實際形狀保持理想直線（xiàn）的狀（zhuàng）況。也就是通常所說的平直程度。直線度公差是實際線對理（lǐ）想直線所允許的變動量（liàng）。也就是在圖樣上所給定的，用以限製實（shí）際線加工誤差所允許（xǔ）的變動範圍。
平麵度：平麵度是表示零件的平麵要素（sù）實際形狀，保持理想平麵的狀況（kuàng）。也就是通常所說的平整程度（dù）。平麵（miàn）度公差（chà）是實際表麵對平麵所允許的變動量。也（yě）就是在圖樣上給定的，用以限製實際表麵加工誤差所允許的變動（dòng）範圍。
圓度：圓度是表示零（líng）件上圓的要素實際形狀，與其中心保（bǎo）持等距的情況（kuàng）。即通常所說的圓整程度。圓度公差是在同一截麵（miàn）上，實際圓對理想圓所允許的（de）變動（dòng）量。也就是圖樣上給（gěi）定（dìng）的，用以限製實際圓的加（jiā）工誤差所允許的變動範圍。
圓柱度：圓柱度是表示零件上圓柱麵外（wài）形輪廓上的各點，對其（qí）軸線保持等距狀況。圓柱度公差是實際（jì）圓（yuán）柱麵對理想圓柱麵所允許（xǔ）的變動量。也就是圖樣上給定的（de），用以（yǐ）限製實際圓柱麵加工誤差所允許的變動範圍（wéi）。
線輪廓度：線輪廓度是表示在零件的給定平麵上，任意（yì）形狀的曲線，保持其理想（xiǎng）形狀的狀況。線（xiàn）輪廓度（dù）公差是指非圓曲線的（de）實際輪廓線的允許變動量。也就是圖樣上給定的，用以限製實際曲線加工（gōng）誤（wù）差所允許的變動範圍。
麵輪廓度：麵輪廓（kuò）度是表示零件上的任意形狀的曲麵，保持其理想形狀的狀（zhuàng）況。麵（miàn）輪（lún）廓度公差是指非圓曲麵的（de）實際輪廓線，對理想輪廓麵的允許變動量。也就是圖樣上給定（dìng）的（de），用以限製實際曲麵加工誤差的變動範（fàn）圍。
平行度：平行度是表示零件上被測實際（jì）要素相對於基準保持等（děng）距離的狀況。也就是通常所說的保持平行的程度。平行（háng）度公差是：被測要素的實際方向，與基準相平行的理想方向之間所允許的變動量。也就（jiù）是圖樣上所給出（chū）的，用以限製被測實際要素偏離平行方向所允許的（de）變（biàn）動範圍。
垂直度：垂（chuí）直度是表示零件上被（bèi）測要素相對於基準要素，保（bǎo）持正確的90°夾角（jiǎo）狀況。也就是通常所說的（de）兩要素之間保持正交的程度。垂直度公差是：被測要素的實際方向，對於基（jī）準（zhǔn）相垂直的理想方向之間，所允許的變動量。也就是（shì）圖樣上給出的，用以限製被測實際要素偏離垂直方向，所允（yǔn）許的變動範圍。
傾斜度：傾斜度是表示（shì）零（líng）件上兩要素相（xiàng）對方向保持（chí）任意給定角度的（de）正確狀（zhuàng）況。傾斜度公差是：被測要素的實際（jì）方向，對於基準成（chéng）任意給定角度的理想方向（xiàng）之間所允許的變動量。
對稱（chēng）度：是表示零（líng）件上（shàng）兩對稱（chēng）中心要素保持在同一中心平麵內的狀態。對稱度公差是：實際要素的對稱（chēng）中心麵(或（huò）中心線、軸（zhóu）線)對理想對稱平麵所允許的變動量。該理想對稱平麵是指與基準對稱平麵（miàn）(或中心線、軸線)共（gòng）同的理（lǐ）想平麵。
同軸度：同軸度是（shì）表示零件上（shàng）被測軸線相對於基準軸線，保（bǎo）持在同一直線上的狀況（kuàng）。也就是通常所說的（de）共軸程度。同軸（zhóu）度公差（chà）是：被測實（shí）際（jì）軸（zhóu）線相對於基準軸線所允許（xǔ）的變動量。也就是（shì）圖樣上給出的，用以限製被測實際軸線偏離由基準（zhǔn）軸線所確（què）定的理想位置所允許的變動範圍。
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